Sputtern ist eine PVD Beschichtungstechnik zur Herstellung leistungsstarker Dünnschichten. In einer Vakuumkammer wird ein Argonplasma gezündet. Argon Ionen werden mittels eines elektrischen Feldes auf eine negativ geladene Kathode (Target) hin beschleunigt. Die Argon Ionen treffen mit hoher kinetischer Energie auf das Target. Als Folge des hohen Energieeintrags werden Atome des Targetmaterials emittiert. Die Atome diffundieren durch die Vakuumkammer und kondensieren als dünne Schicht auf dem Substrat.
Für jeden der zahlreichen Anwendungsbereiche bietet PLANSEE die optimale Werkstofflösung. Laufend neue Materialkombinationen und innovative Targetgeometrien tragen zu einem immer effizienteren Beschichtungsprozess bei. PLANSEE Sputter Targets sind in Form von Rohr- und Flachtargets verfügbar und erfüllen höchste Anforderugen hinsichtlich Reinheit, Kornstruktur und Materialdichte.
Einsatzbereiche von PLANSEE Sputter Targets:
- LCD-TFT Bildschirme
- Photovoltaik und Solarthermie
- Hartstoffbeschichtung
- Großflächen-Beschichtung
Höchste Qualität: Vom Pulver bis zum Endprodukt.
Mit unserer vollständig integrierten Targetproduktion bieten wir die weltweit größte Fertigungstiefe. Dank modernster Produktionstechnologien von der Pulverproduktion bis zum Bonding der Sputter Targets sichern wir langfristig die Verfügbarkeit und beste Produktqualität.

Für mehr Informationen zu unseren Sputter Targets wenden Sie sich bitte an coating@plansee.com. Wir freuen uns auf Ihre Anfrage!