In einer Vakuumkammer wird zwischen einer Elektrode und einer positiv geladenen Arc-Kathode eine Bogenentladung gezündet. Der Lichtbogen verdampft das Kathodenmaterial. Das verdampfte, hochionisierte Kathodenmaterial reagiert in der Vakuumkammer mit einem Reaktivgas (N2, C2H4) und kondensiert als Nitrid, Carbid oder Carbonitrid auf dem Substrat.
Die hohe Verdampfungsrate prädestiniert das Lichtbogenverdampfen für Anwendungen in der Hartstoff- und Verschleißschutzbeschichtung, bei tribologischen Beschichtungen (Automobilindustrie) sowie dekorativen Beschichtungen.
| Langjährige Erfahrung in der Pulvermetallurgie ermöglicht PLANSEE, den steigenden Anforderungen bezüglich Reinheit, Kornstruktur, Dichte und Targetgeometrien gerecht zu werden, sowie neue Werkstoffkombinationen zur Serienreife zu entwickeln. |
PLANSEE liefert Arc-Kathoden aus:
- Refraktärmetallen: Cr
- Aluminiumlegierungen: AlTi, AlTiX, AlTiXY, AlCr
- keramischen Materialien: WC
