Für das Aufbringen von Isolierschichten auf mikroelektronische Komponenten, Schichtwiderständen sowie Entspiegelungs- und Filterschichten in der Optik kommt vielfach das Elektronenstrahlbedampfen zum Einsatz. Hier wird der Beschichtungswerkstoff mittels eines elektromagnetisch abgeleiteten Elektrodenstrahls aus einem wassergekühlten Tiegel verdampft. Folgen aus unterschiedlichen Schichten können auf diese Weise in einem Arbeitsgang aufgebracht werden.
PLANSEE liefert:
Tiegel aus Molybdän, TZM, Wolfram, Tantal
Glühemissionskathoden aus Wolfram
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Tiegel & Töpfe
Tiegel aus Molybdän, Wolfram, Tantal und Niob. Korrosionsbeständig und temperaturresistent.
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